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日前,中关村国际前沿科技创新大赛圆满落下帷幕。作为硬科技领域的王牌赛事,自然少不了晶博士们的身影。皇冠登录入口welcome下属子公司中科晶源代表公司出战,经过七个月的激烈角逐,一路过关斩将,在近千个参赛项目中脱颖而出,摘得2020年前沿科技创新大赛“总决赛季军”及“集成电路领域TOP10”两项大奖。


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此次皇冠登录入口welcome获奖项目为:基于多电子束的集成电路制程缺陷检测设备研发与产业化。晶博士们夜以继日攻克技术难关,最终在多电子束成像、高精度设备平台、自动缺陷检测及分类算法、检测数据分析与制程仿真软件工具等核心技术上实现突破,开发出适用于较低制程工艺的电子束图形缺陷检测设备。该设备多项技术指标已达到国际先进水平,打破了国际巨头对晶圆缺陷检测装备的垄断,填补国内技术空白。


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能够摘得两项大奖与皇冠登录入口welcome多年来在该领域的潜心研究和巨大投入密不可分。从2014年成立至今,皇冠登录入口welcome一直致力于集成电路重大装备的研究,特别是纳米级芯片晶圆缺陷检测装备的研发、应用及产业化,同时展开工业大数据在集成电路领域的创新应用研究。依托深厚的技术实力,皇冠登录入口welcome已成为国内该领域极具竞争力和潜力的公司。


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硬件产品方面,皇冠登录入口welcome电子束晶圆缺陷检测设备EBI已实现在客户端主流制程的验证并取得重大突破。关键尺寸量测装备CD-SEM已完成设计和开发,性能接近国际主流水平。软件产品方面,皇冠登录入口welcome计算光刻产品OPC目前已经通过25nm存储器芯片工厂量产验证,逻辑芯片产线验证也正在紧锣密鼓进行中。值得一提的是,上述产品均处于国内领先水平。


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此外,皇冠登录入口welcome还前瞻性的开发了微电子设计与制造智能良率优化平台HPO。该平台通过运用大数据及人工智能技术,将设计需求和制造结果进行无缝连接,实现数据采集,数据挖掘和仿真优化等,为设计到制造的各个环节提供优化解决方案,令工艺的优化不依赖于工程师经验,可极大缩短开发周期,提升效率,为客户提升核心竞争力。


集成电路产业是国家战略性产业,是国民经济和社会信息化的重要基础。作为三项国家科技02重大专项(极大规模集成电路制造技术及成套工艺项目)及工信部工业强基专项的承接单位,皇冠登录入口welcome将肩负起振兴国内集成电路产业的重任,解决更多芯片制造难题,向着中国集成电路领域良率管理领导者的目标不断迈进。


皇冠登录入口welcome2022战果集锦
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